特許
J-GLOBAL ID：201703012259402448
圧電デバイス及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-102919
公開番号（公開出願番号）：特開2017-212508
出願日： 2016年05月24日
公開日（公表日）： 2017年11月30日
要約：
【課題】小型化に有利な構造を有した圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電振動片43の平面形状より広い開口を持つ凹部41a及びこの凹部41aの内底面に圧電振動片接続用の接続バンプ41bを有するベース41と、圧電振動片43の平面形状より広い開口を持つ凹部45aを有する蓋部材45と、接続バンプ41bに導電性接着剤49で固定されている圧電振動片43と、を具える。ベースの凹部41aの深さd1を、接続バンプ41bの高さより深く、かつ、導電性接着剤49を塗布する装置の塗布ノズルが当該接着剤を所定通りに塗布するために必要な接近距離より浅くしてある。この深さd1は、20〜60μmである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電振動片の平面形状より広い開口を持つ凹部及び該凹部の内底面に圧電振動片接続用の接続バンプを有するベースと、前記圧電振動片の平面形状より広い開口を持つ凹部を有する蓋部材と、前記接続バンプに導電性接着剤で固定されている圧電振動片と、を具える圧電デバイスにおいて、
前記ベースの凹部の深さを、前記接続バンプの高さより深く、かつ、前記導電性接着剤を塗布する装置の塗布ノズルが当該接着剤を所定通りに塗布するために必要な接近距離より浅くしてあることを特徴とする圧電デバイス。
IPC (3件)：
H03H 9/02
, H03H 9/10
, H03H 3/02
H03H9/02 A
, H03H9/10
, H03H3/02 B
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG09
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108KK03
, 5J108KK04
, 5J108MM01
, 5J108MM04
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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