特許
J-GLOBAL ID：201703012299147246
マイクロデバイスおよびそれを備えた検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-202327
公開番号（公開出願番号）：特開2017-075807
出願日： 2015年10月13日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
要約：
【課題】リークの虞を排除したうえで、回転数の切り替えや外部からバルブの開閉をせずに、能動的に逐次的な流体の制御が安定してなされるマイクロデバイスを提供する。【解決手段】少なくとも二つ以上のチャネルと、第1のサブデバイスとを備え、第1のサブデバイスは第1の容器13を備え、チャネルの各々は、第2の容器12aと、第2のサブデバイスとを備え、第2のサブデバイスは一端が前記第2の容器の出力口に繋がれた第1の流路11aを具備し、チャネルの各々は第1の流路の他端を経由し独立して第1の容器のチャネルごとに設けられた入力口にそれぞれ接続され、第1の流路の各々は、長さ・太さ・形状の少なくとも1つが互いに異なり、第2の容器、第2のサブデバイス、第1のサブデバイスの順に、流路の上流側位置の基準点から離れるように構成されたマイクロデバイス18。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも二つ以上のチャネル(a,b)と、
第1のサブデバイスと
を備え、
前記第1のサブデバイスは第1の容器(13)を備え、
前記チャネルの各々は、
第2の容器(12a)と、
第2のサブデバイスと
を備え、
前記第2のサブデバイスは
一端が前記第2の容器の出力口に繋がれた第1の流路(11a)を
具備し、
前記チャネルの各々は前記第1の流路の他端を経由し独立して前記第1の容器の前記チャネルごとに設けられた入力口にそれぞれ接続され、
前記第1の流路の各々は、長さ・太さ・形状の少なくとも1つが互いに異なり、
前記第2の容器、前記第2のサブデバイス、前記第1のサブデバイスの順に、流路の上流側位置の基準点から離れるように構成されたマイクロデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N35/08 A
, G01N37/00 101
2G058AA09
, 2G058BA06
, 2G058EA03
, 2G058GA02
