特許
J-GLOBAL ID：201703012736131397
平面光導波路の製造方法及びモード合分波器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
岡田 賢治
, 今下 勝博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-211604
公開番号（公開出願番号）：特開2015-075616
特許番号：特許第6112606号
出願日： 2013年10月09日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】互いのコア径又はコア形状が異なる非対称平行光導波路を含む平面光導波路を製造する平面光導波路の製造方法であって、
下部クラッド層となる基板又は基板上にクラッド材を一様に堆積した下部クラッド層を深さ方向にエッチングして所望のベースパターンを形成する下部クラッド層エッチング工程と、
前記下部クラッド層を覆うようにコア材を一様に堆積してコア層を形成するコア層堆積工程と、
前記コア層を深さ方向にエッチングして光導波路パターンを形成するコア層エッチング工程と、
前記コア層及び前記下部クラッド層を覆うように前記クラッド材を一様に堆積して上部クラッド層を形成する上部クラッド層堆積工程と、
を順に行い、
前記下部クラッド層エッチング工程で形成する前記ベースパターンの前記下部クラッド層の厚みと前記コア層エッチング工程で形成する前記光導波路パターンの幅を、平行する光導波路ごとに違えることで前記非対称平行光導波路を形成することを特徴とする平面光導波路の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 6/132 ( 200 6.01)
, G02B 6/136 ( 200 6.01)
, G02B 6/12 ( 200 6.01)
G02B 6/132
, G02B 6/136
, G02B 6/12 311
