特許
J-GLOBAL ID：201703013252984308
ガラスエンベロープを封着するためのマスクおよび方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-077909
公開番号（公開出願番号）：特開2016-122671
特許番号：特許第6198883号
出願日： 2016年04月08日
公開日（公表日）： 2016年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 温度および環境に敏感な素子を密閉する方法であって、
第1基板および第2基板の間に延びる高さと幅とを有する少なくとも1つのフリット壁により分離された、該第1基板および第2基板と、前記第1および第2基板の間に配置されかつ前記フリット壁に包囲された、少なくとも1つの温度および環境に敏感な素子とを提供するステップ、
前記フリット壁の前記幅よりも大きい直径の、略円形のビームプロファイルを有するレーザビームを生成するレーザを提供するステップ、
前記レーザビームを遮断する不透明材料に、長さ、および前記フリット壁の前記幅と実質的に等しい幅を有する、細長い領域が設けられたマスクであって、前記レーザビームの一部が該マスクを通過できるようにするために、前記細長い領域が、該細長い領域の長手方向の中心線に略沿って延在している、前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って前記レーザビームの中心部分を完全に遮断する不透明材料からなるストリップと、該細長い領域の残りの部分を構成する実質的に透明な透過領域とを有する、マスクを提供するステップ、
前記マスクを、前記細長い領域が前記フリット壁と位置合わせされるようにして、前記レーザと前記第1基板または前記第2基板のうちの1つとの間に位置付けるステップ、および、
前記レーザビームを前記マスクの前記細長い領域に通して導き、それにより、前記レーザビームの前記中心部分が、前記中心線に沿った部分において、前記ストリップにより前記略円形のビームプロファイルの全直径に亘って完全に遮断される一方、前記レーザビームが、前記中心線に沿った部分の両側の前記透過領域を通過する、別々の強度ピークを有する2つの分かれたビームに分裂させられ、該2つの分かれたビームが前記フリット壁に衝突し、前記素子を過熱および損傷することなく前記フリット壁を溶融して、前記第1および第2基板を結合させ、かつ該第1および第2基板間に前記素子を気密封着するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
H05B 33/04
, H05B 33/14 A
