特許
J-GLOBAL ID：201703013710552153

液体供給装置、及び基板処理装置

発明者：
小菅 隆一

小菅 隆一 について

, 
梅本 正雄

梅本 正雄 について

, 
中野 央二郎

中野 央二郎 について

, 
曽根 忠一

曽根 忠一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  宮前 徹 ,  山崎 幸作 ,  鐘ヶ江 幸男 ,  串田 幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089254
公開番号（公開出願番号）：特開2014-212288
特許番号：特許第6091976号
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を基板へ供給するための供給ラインと、 前記供給ラインに設けられ、該供給ラインを開閉可能なバルブと、 前記バルブの開閉を制御することによって前記供給ラインを開閉する第1の制御部と、 前記第1の制御部に供給される電源が喪失した場合に、前記バルブの開閉を制御することによって前記供給ラインを開閉可能な第2の制御部と、 を備えたことを特徴とする液体供給装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B24B 37/04 ( 201 2.01)
FI (4件)：
H01L 21/304 622 Z ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/304 648 G ,  B24B 37/04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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