特許
J-GLOBAL ID：201703013749287678

光照射装置および照射方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-053800
公開番号（公開出願番号）：特開2014-176831
特許番号：特許第6053150号
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光反応型の接着剤層を有し被着体の外縁からはみ出す大きさの接着シートに当該被着体が貼付された一体物を照射対象とし、前記接着剤層に光を照射して光反応を起こさせる光照射装置であって、 前記被着体の外縁からはみ出た接着シート領域を介して前記一体物を支持するとともに、当該接着シートを含んで外気から遮断された密閉空間を形成可能な密閉空間形成手段と、 接着剤層に前記光を照射する発光手段とを備え、 前記密閉空間に供給するまたは前記密閉空間から排出する気体および液体のうち少なくとも1つの量を制御して前記密閉空間の体積を変化させ、前記被着体および当該被着体に対応する接着シート部分が他の物体と接触することなく前記接着剤層を所定の位置に位置決め可能な位置決め手段を有することを特徴とする光照射装置。
IPC (4件)：
B01J 19/12 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  C09J 7/02 ( 200 6.01) ,  B29C 65/48 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B01J 19/12 C ,  H01L 21/68 N ,  C09J 7/02 Z ,  B29C 65/48
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM