特許
J-GLOBAL ID：201203020192981044

シート貼付装置および貼付方法

発明者：
中田 幹

中田 幹 について

, 
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-040871
公開番号（公開出願番号）：特開2012-178471
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：
【課題】接着シートを貼付する際の被着体の撓みを抑制でき、接着シートの貼付不良や被着体の破損を防止できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置1は、被着体Wを支持する支持手段2と、支持手段2で支持された被着体Wを臨む位置に接着シートSを供給可能なシート供給手段3と、接着シートSを被着体Wに押圧して貼付する押圧手段8A,8Bとを備え、支持手段2は、被着体Wの一方の面W1に当接して被着体Wの外縁領域W3を支持する第1支持部21と、被着体Wの他方の面に当接して被着体Wの外縁領域W3を第1支持部との間で挟持する第2支持部23とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、 前記被着体を支持する支持手段と、 前記支持手段で支持された被着体を臨む位置に前記接着シートを供給可能なシート供給手段と、 前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、 前記支持手段は、前記被着体の一方の面に当接して当該被着体の外縁領域を支持する第1支持部と、前記被着体の他方の面に当接して当該前記被着体の外縁領域を前記第1支持部との間で挟持する第2支持部とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031HA23 ,  5F031HA58 ,  5F031HA78 ,  5F031JA10 ,  5F031JA47 ,  5F031KA03 ,  5F031MA37
引用特許：
審査官引用 (15件)
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