特許
J-GLOBAL ID：201703014097708680
基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
杉谷 勉
, 戸高 弘幸
, 杉谷 知彦
, 栗原 要
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199408
公開番号（公開出願番号）：特開2014-056865
特許番号：特許第6042143号
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板の周縁を当接して保持する基板保持部材において、
基板の厚みより狭い溝底部と、この溝底部から上方へ向かって開いた一対の傾斜面とを備えた保持溝を有する保持部と、
前記保持部の側面に形成され、前記一対の傾斜面の各々から下方に向かって形成された液滴誘導部と、
を備え、
前記液滴誘導部の下部に接続され、下方に向かって縦方向に延出された縦方向液滴誘導部をさらに備えていることを特徴とする基板保持部材。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 648 D
, H01L 21/304 642 A
