制御装置、制御プログラムおよび制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-273843
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119902
特許番号：特許第6111642号
出願日： 2012年12月14日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対象物の物理的変位を示す測定情報を測定装置から取得する入力部と、前記対象物に対して処理を行なう処理装置を駆動するための駆動部と通信するインターフェイスと、前記測定情報に基づいて前記駆動部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記測定情報に対して平滑化処理を行なう平滑化手段と、先行して算出された平滑化処理の結果と前記測定情報とを比較することで、前記平滑化処理の前に前記測定情報を補正する補正手段とを含み、前記補正手段は、前記先行して算出された平滑化処理の結果に対して位相を遅れ側にシフトさせる手段と、前記測定情報と前記位相がシフトされた平滑化処理の結果との差を算出する手段を含む、制御装置。

IPC (2件)：