特許
J-GLOBAL ID：201703014517796890

クリーニング用素材およびクリーニング方法

発明者：
齋藤 紀子

齋藤 紀子 について

, 
小野寺 教夫

小野寺 教夫 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265903
公開番号（公開出願番号）：特開2014-112577
特許番号：特許第6148850号
出願日： 2012年12月05日
公開日（公表日）： 2014年06月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁性セラミックスにより構成され、試料保持具の表面に接触するクリーニング面を有するクリーニング用素材であって、 前記クリーニング面の表面粗さX[μm]および平面度Y[μm]の組み合わせを表わすプロットが、X-Y平面において0.20≦X≦0.50および0.10≦Y≦0.40で表わされる第1指定範囲に含まれていることを特徴とするクリーニング用素材。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B08B 1/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/304 648 Z ,  B08B 1/00
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM