特許
J-GLOBAL ID：201703014854774033

試料載置ユニット、真空オペランド測定装置、及びリチウムイオン二次電池を用いたオペランド測定方法

発明者：
増田 秀樹

増田 秀樹 について

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酒井 智香子

酒井 智香子 について

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石田 暢之

石田 暢之 について

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藤田 大介

藤田 大介 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人物質・材料研究機構

国立研究開発法人物質・材料研究機構 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-155712
公開番号（公開出願番号）：特開2017-033889
出願日： 2015年08月06日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：
【課題】走査型ヘリウムイオン顕微鏡等を用いてのオペランド測定において、狭隘な真空槽内に設置される被測定対象の電子デバイス等に給電を行うことが円滑に行える料載置ユニットを提供すること。【解決手段】真空槽内のX線、電子線またはイオンビームの照射領域に取り付けられる試料載置ユニットであって、被測定対象物(20)を載置する領域(14)と、前記被測定対象物に給電するための全固体リチウムイオン二次電池(36)を載置する領域(30)とを備え、前記X線、電子線またはイオンビームの照射装置に設置された状態では、前記真空槽内に収容されることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空槽内のX線、電子線またはイオンビームの照射領域に取り付けられる試料載置ユニットであって、 被測定対象物を載置する領域と、 前記被測定対象物に給電するための全固体リチウムイオン二次電池を載置する領域と、 を備え、前記X線、電子線またはイオンビームの照射装置に設置された状態では、前記真空槽内に収容されることを特徴とする試料載置ユニット。
IPC (4件)：
H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/22
FI (4件)：
H01J37/20 F ,  H01J37/28 Z ,  G01N23/225 320 ,  G01N23/22 320
Fターム (15件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001HA09 ,  2G001LA11 ,  2G001QA02 ,  5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C033UU03 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
審査官引用 (3件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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