特許
J-GLOBAL ID：201703015417275555
アライメント装置およびそのための回転条件調整方法および装置、並びに基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
久保 幸雄
, 坂田 泰弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-206184
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060373
特許番号：特許第6057640号
出願日： 2012年09月19日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 回転台、前記回転台を回転駆動する駆動手段、および前記回転台上に載置された円盤状の基板の位置を検出する基板位置検出手段を備えるアライメント装置のための回転条件調整方法であって、
前記基板位置検出手段は、
前記基板の位置を検出するために前記基板の周縁部においてそれぞれ半径方向に沿うようにかつ互いに異なる角度位置に配置されてそのエッジ位置をそれぞれ検出する2つのラインセンサと、
前記2つのラインセンサによって検出された前記エッジ位置に基づいて、前記回転台の回転にともなって前記基板の前記回転台に対するズレにより生じる変位量を求める変位算出手段と、を含み、
前記2つのラインセンサは、前記回転台の中心点に対する角度位置が互いにほぼ90度だけずれた状態で配置され、しかも、少なくとも1つのラインセンサは、前記XY平面を定義するX軸およびY軸のいずれかの軸上から微少角度αだけずれた状態で配置されており、
前記回転台上に基板が載置された状態で、前記駆動手段によって前記回転台を回転させる第1のステップと、
前記変位量を前記基板位置検出手段によって検出する第2のステップと、を実行し、
検出された前記変位量に基づいて、前記基板がスリップしないような回転速度または加速度である限界速度または限界加速度を求める、
ことを特徴とするアライメント装置のための回転条件調整方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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