特許
J-GLOBAL ID：201703015583508363

研磨装置

発明者：
高橋 太郎

高橋 太郎 について

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中村 顕

中村 顕 について

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澁江 宏明

澁江 宏明 について

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多田 光男

多田 光男 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  宮前 徹 ,  鐘ヶ江 幸男 ,  渡邊 誠 ,  串田 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031970
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152471
出願日： 2016年02月23日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】狭い範囲を測定できる終点検知センサを有して膜厚検出精度が向上した研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置10は、研磨パッド101が取り付けられる研磨テーブル100内に配置され、研磨の終点を検知する終点検知センサ50を有する。終点検知センサ50は、磁性体であるポットコアを有する。ポットコア60は、底面部61aと、磁心基部61bと、周壁基部61cとを有する。終点検知センサ50は、励磁コイル62と、渦電流を検出する検出コイル63とを有する。研磨パッド101の裏面101bは、研磨テーブル100に対向する部分に、磁心延長部8および周壁延長部11を収容するための空間30を有する。磁心基部61bおよび周壁基部61cは、底面部61aから空間30に向かって伸びており、空間30に向かって伸びた磁心延長部8および周壁延長部11は、空間30内に位置する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
研磨対象物を研磨するための研磨表面を有する研磨パッドと、前記研磨パッドの、前記研磨表面とは反対側の裏面が取り付けられる研磨テーブルと、前記研磨テーブル内に配置され、前記研磨の終点を検知する終点検知センサとを有する研磨装置において、 前記終点検知センサは、 底面部と、前記底面部の中央に配置される磁心部と、前記底面部の周囲かつ前記磁心部の周囲に配置される周壁部とを有する、磁性体であるポットコアと、 前記磁心部に配置され、前記研磨対象物に渦電流を形成する励磁コイルと、 前記磁心部又は前記周壁部に配置され、前記研磨対象物に形成される前記渦電流を検出する検出コイルとを有し、 前記研磨パッドの前記裏面側には、前記研磨テーブルに対向する部分に、前記磁心部および前記周壁部の一部を収容するための空間が配置され、 前記磁心部および前記周壁部は、前記底面部から前記空間に向かって伸びており、前記空間に向かって伸びた前記磁心部および前記周壁部の少なくとも先端部は、前記空間内に位置することを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/013 ,  B24B 37/10
FI (4件)：
H01L21/304 622S ,  H01L21/304 621D ,  B24B37/04 K ,  B24B37/04 G
Fターム (37件)：
2F063AA22 ,  2F063BA26 ,  2F063BB06 ,  2F063BC06 ,  2F063BD13 ,  2F063BD16 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD02 ,  2F063GA08 ,  3C158AA07 ,  3C158AC02 ,  3C158BA01 ,  3C158BA07 ,  3C158BB02 ,  3C158BC01 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158DA11 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB14 ,  5F057AA20 ,  5F057AA31 ,  5F057BA15 ,  5F057BB23 ,  5F057BB24 ,  5F057BB25 ,  5F057BB27 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057GA12 ,  5F057GA13 ,  5F057GB03 ,  5F057GB13
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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