特許
J-GLOBAL ID：201703015835348992
保護部材形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-113442
公開番号（公開出願番号）：特開2017-220548
出願日： 2016年06月07日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：
【課題】フィルムを切断するときに切り刃をウエーハの外周に接触させないようにする。【解決手段】保護部材形成装置1は、フィルム8を円形に切断する切断手段10を備え、切断手段10は、ウエーハWを保持する保持テーブル11とウエーハWの外周Wcを検出する検出手段12a,12bとウエーハWの外周Wcに沿ってフィルム8を円形に切断する切断機構13とを備え、第1の投光部120から投光された第1検出光L1を第1の受光部122が受光せず第2の投光部121から投光された第2検出光L2を第2の受光部123が受光した場合はウエーハWの中心Woがずれていないと判断し、それ以外の場合はウエーハWの中心Woがずれていると判断する判断部17を備えたため、ウエーハWの位置ずれを確認してから切り刃135をフィルム8に切り込ませることができ、切り刃135がウエーハWの外周Wcに接触するのを防止できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエーハの一方の面の全面にフィルムの上に供給された液状樹脂を拡張させ硬化させ保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
該フィルムを保持するステージと、
該ステージが保持した該フィルムの上に液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、
該ステージの上方でウエーハを保持する保持手段と、
ウエーハを保持した該保持手段を下降させ該ステージが保持した該フィルム上に供給された該液状樹脂をウエーハで押し拡げる拡張手段と、
該拡張手段で押し拡げられた該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、
硬化した該液状樹脂で固定されたウエーハの外周に沿って該フィルムを円形に切断する切断手段と、を備え、
該切断手段は、硬化した該液状樹脂を介して該フィルムに固定されたウエーハを保持する保持面を有する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウエーハの外周を検出する検出手段と、
ウエーハの外周より外側となるウエーハの直径より大きい直径を有する円に沿って該フィルムを切断する切り刃を切り込ませ該保持テーブルに保持されたウエーハの外周に沿って該フィルムを円形に切断する切断機構と、を備え、
該検出手段は、ウエーハの上方から第1検出光を投光する第1の投光部と、ウエーハの上方から第2検出光を投光する第2の投光部と、該第1の投光部から投光された該第1検出光を該保持面より下方側で受光する第1の受光部と、該第2の投光部から投光された該第2検出光を該保持面より下方側で受光する第2の受光部と、を備え、
該第1の受光部は、ウエーハの外周より内側に配置され、
該第2の受光部は、ウエーハの外周より外側に配置され、
該第1の投光部から投光された該第1検出光を該1の受光部が受光せず該第2の投光部から投光された該第2検出光を該第2の受光部が受光した場合はウエーハの中心がずれていないと判断し、それ以外の場合はウエーハの中心がずれていると判断する判断部を備える保護部材形成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (27件)：
5F131AA02
, 5F131BA53
, 5F131CA09
, 5F131CA18
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB02
, 5F131DB62
, 5F131EA06
, 5F131EA07
, 5F131EA23
, 5F131EB01
, 5F131EB78
, 5F131EC32
, 5F131EC62
, 5F131EC63
, 5F131EC68
, 5F131EC69
, 5F131GA03
, 5F131JA15
, 5F131KA44
, 5F131KA47
, 5F131KA54
, 5F131KB05
, 5F131KB32
, 5F131KB55
