特許

J-GLOBAL ID：201703019083944820

非蒸発型ゲッタポンプ

発明者： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
出願人/特許権者： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
代理人 (2件)： 杉村 憲司 ,  神 紘一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-233674
公開番号（公開出願番号）：特開2017-101571
出願日： 2015年11月30日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：

【課題】本発明は、より効率的に排気速度を高めることが可能な非蒸発型ゲッタポンプを提供することを目的とする。【解決手段】ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材3とを備えることを特徴とする。非蒸発型ゲッタ材は、複数の非蒸発型ゲッタピル3pからなる、非蒸発型ゲッタポンプ1。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ヒーターと、該ヒーターを中心として放射状に配置されている非蒸発型ゲッタ材とを備えることを特徴とする、非蒸発型ゲッタポンプ。

IPC (1件)：

F04B 37/02

FI (1件)：

F04B37/02 A

Fターム (3件)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076CC55

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-210649   出願人：大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構
• ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-011506   出願人：有限会社真空実験室
• 特表平7-509036
  
• ゲッターポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-276912   出願人：大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構