多層樹脂シート、樹脂シート積層体、多層樹脂シート硬化物及びその製造方法、金属箔付き多層樹脂シート、並びに半導体装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人太陽国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-205005
公開番号（公開出願番号）：特開2017-019291
出願日： 2016年10月19日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：

【課題】熱伝導性、接着強度及び絶縁性のすべてに優れる多層樹脂シート硬化物を形成しうる多層樹脂シートを提供する。【解決手段】熱硬化性樹脂及びフィラーを含む樹脂組成物層と、前記樹脂組成物層の少なくとも一方の面上に配置され、前記樹脂組成物層とは対向しない面の算術平均表面粗さRaが1.5μm以下である接着材層と、を有する多層樹脂シート。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂及びフィラーを含む樹脂組成物層と、前記樹脂組成物層の少なくとも一方の面上に配置され、前記樹脂組成物層とは対向しない面の算術平均表面粗さRaが1.5μm以下である接着材層と、を有する多層樹脂シート。

IPC (6件)：

B32B 27/20 , B32B 15/092 , B32B 27/26 , B32B 27/38 , H01L 23/36 , H01L 23/373

FI (6件)：

B32B27/20 Z , B32B15/092 , B32B27/26 , B32B27/38 , H01L23/36 D , H01L23/36 M

Fターム (75件)：

4F100AA14A , 4F100AA19B , 4F100AA19D , 4F100AB00C , 4F100AB00E , 4F100AB17 , 4F100AB33C , 4F100AB33E , 4F100AD06A , 4F100AH02 , 4F100AH02A , 4F100AH06 , 4F100AK00A , 4F100AK25B , 4F100AK25D , 4F100AK49B , 4F100AK49D , 4F100AK50B , 4F100AK50D , 4F100AK53A , 4F100AK53B , 4F100AK53D , 4F100AL05A , 4F100AL06B , 4F100AL06D , 4F100AN02B , 4F100AN02D , 4F100AR00C , 4F100AR00E , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA06 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100BA10D , 4F100BA10E , 4F100CA02A , 4F100CA23A , 4F100CA23B , 4F100CA23D , 4F100CB00B , 4F100CB00D , 4F100DD01A , 4F100DD01B , 4F100DD01D , 4F100DE01A , 4F100DE01B , 4F100DE01D , 4F100EJ08A , 4F100EJ42A , 4F100EJ42B , 4F100EJ42D , 4F100GB41 , 4F100JB13A , 4F100JG04 , 4F100JJ01C , 4F100JJ01E , 4F100JK08A , 4F100JL11 , 4F100YY00A , 4F100YY00B , 4F100YY00D , 5F136BC07 , 5F136FA14 , 5F136FA15 , 5F136FA52 , 5F136FA54 , 5F136FA63 , 5F136FA82 , 5F136GA12 , 5F136GA30

引用特許：

審査官引用 (7件)

特許第5141853号
特許第5141853号
接着フィルム、ダイシングテープ一体型接着フィルム及び半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-077896 出願人：日立化成工業株式会社

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