特許
J-GLOBAL ID：201703019348922948
固体撮像装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005543
公開番号（公開出願番号）：特開2014-138064
特許番号：特許第6120579号
出願日： 2013年01月16日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体基板の上面に複数の受光部が設けられた固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板の上方に、カラーフィルタ層を形成する工程と、
前記カラーフィルタ層の上に、複数の開口を有する封止用層を形成する工程と、
前記複数の受光部の各受光部間の上方領域であって、前記カラーフィルタ層に複数の中空部を形成する工程と、
前記封止用層を加熱して軟化させ、前記複数の中空部を残存させつつ、前記複数の中空部の上部を前記封止用層の材料で封止する封止層を形成する工程と
を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ( 200 6.01)
, H01L 31/10 ( 200 6.01)
H01L 27/14 D
, H01L 31/10 A
