特許
J-GLOBAL ID：201703019415670410

少なくとも二つのポンプ段を有する真空ポンプ又はスクロールポンプの作動の為の方法、及び真空ポンプ

発明者：
ハイコ・シェーファー

ハイコ・シェーファー について

, 
シュテファン・カレンボルン

シュテファン・カレンボルン について


出願人/特許権者：
プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー について


代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  篠原 淳司 ,  清田 栄章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-039622
公開番号（公開出願番号）：特開2016-169731
特許番号：特許第6188850号
出願日： 2016年03月02日
公開日（公表日）： 2016年09月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】少なくとも一つのポンプ段、モーター及びモーター制御部を有する真空ポンプであって、その際、真空ポンプが、摩耗性のシールを有する乾燥運転式の真空ポンプとして形成されている真空ポンプにおいて、 少なくとも一つの圧力センサー(51)が、第一のポンプ段(43)の前に、及び/又は、真空ポンプの少なくとも一つの圧縮室(23A,23b;54A,54b;55A,55b)内に設けられていること、及び圧力センサー(51)が評価ユニット(53)と接続されていること、 その際、少なくとも一つの圧力センサー(51)が、真空ポンプ(1,31,101)の吸引領域(45)内に設けられており、 一つの追加的なバルブ(54)が、真空ポンプ(1,31,101)の吸引開口部(45)の閉鎖の為に設けられており、 吸引領域(45)とレシーバーを分離するバルブ(54)が、真空ポンプ(1,31,101)のスタートの際に閉じられ、 圧力センサー(45)が、レシーバーに対して閉じられた吸引領域(45)内のガス圧を計測し、 圧力センサー(51)の一又は複数の計測値が評価ユニット(53)により評価され、及び、 評価結果に応じて、シール(29,148)の摩耗に関して、情報が、表示ユニットにより出力されるよう構成されていることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04B 37/16 ( 200 6.01) ,  F04C 25/02 ( 200 6.01) ,  F04C 28/28 ( 200 6.01)
FI (3件)：
F04B 37/16 A ,  F04C 25/02 N ,  F04C 28/28 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM