特許
J-GLOBAL ID：201703019845044032
音叉型水晶振動子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅川 哲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-157255
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022802
特許番号：特許第6087527号
出願日： 2012年07月13日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基部及び該基部から延びる一対の振動腕部と、該振動腕部の長手方向に凹設された溝部と、該溝部を形成する壁部と、該壁部の表面に設けられる励振電極とを備え、
前記励振電極は、銀、銅、ニッケル、白金、パラジウム、クロム、チタン、モリブデン、タングステンのいずれかから選択、あるいは、これらの金属の積層構造からなり、
ヤング率の温度特性を1次関数に近似したときの1次温度係数をA、ゼロ次項をB、室温T、テイラー展開温度T0とした場合に、
温度特性E(T)=A(T-T0)+Bで表される音叉型水晶振動子であって、
前記壁部の最小厚みを3〜6μm、且つ、A≧-20MPa/°Cとした場合に、少なくとも一か所の壁部に対向する前記励振電極の厚みを該壁部の最小厚みの1/50以下とすることを特徴とする音叉型水晶振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H03H 9/02 ( 200 6.01)
, H03H 9/215 ( 200 6.01)
H03H 9/19 L
, H03H 9/02 N
, H03H 9/215
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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