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J-GLOBAL ID：201802254780493782   整理番号：18A1887187

最先端センサーMSS(膜型表面応力センサー)の動向について 膜型表面応力センサ「MSS」

Membrane-type Surface stress Sensor “MSS”

著者 (3件)： 吉川元起 (物質・材料研究機構 機能性材料研究拠点,センサ・アクチュエータ研究開発セ) ,  吉川元起 (物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点) ,  吉川元起 (筑波大)
資料名： におい・かおり環境学会誌  (Journal of Japan Association on Odor Environment)
巻： 49  号： 5  ページ： 291-296  発行年： 2018年09月25日 
JST資料番号： S0864A  ISSN： 1348-2904  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノメカニカルセンサは,感応膜としてほとんどの材料を利用可能であるという多様性の高さから,様々な分野への応用が期待されている。なかでも,近年開発された膜型表面応力センサ(Membrane-type Surface stress Sensor,MSS)は,高感度化と小型化を両立可能であることから,特にモバイルやモノのインターネット(Internet of Things,IoT)などの用途の嗅覚センサへの応用が期待されている。本稿では,MSS開発の経緯や動作原理について基礎的・技術的な内容も含めて紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *表面応力 ,  匂いセンサ ,  *センサ ,  化学センサ ,  *膜 ,  感受性 ,  片持梁 ,  ナノ構造 ,  電気抵抗 ,  嗅覚
準シソーラス用語： ナノカンチレバー ,  ピエゾ抵抗 ,  *感応膜 ,  *膜型表面応力センサ

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (13件)：

• Gimzewski, J. K., Gerber, C., Meyer, E., and Schlittler, R. R. : Observation of a Chemical-Reaction Using a Micromechanical Sensor, Chemical Physics Letters, 217, 589-594, (1994).
• Thundat, T., Warmack, R. J., Chen, G. Y., and Allison, D. P. : Thermal and Ambient-Induced Deflections of Scanning Force Microscope Cantilevers, Applied Physics Letters, 64, 2894-2896, (1994).
• Tortonese, M., Barrett, R. C., and Quate, C. F. : Atomic Resolution with an Atomic Force Microscope Using Piezoresistive Detection, Applied Physics Letters, 62, 834-836, (1993).
• Pfann, W. G., and Thurston, R. N.: SEMICONDUCTING STRESS TRANSDUCERS UTILIZING TRANSVERSE AND SHEAR PIEZORESISTANCE EFFECTS, Journal of Applied Physics, 32, 2008-&, (1961).
• Kanda, Y.: A GRAPHICAL REPRESENTATION OF THE PIEZORESISTANCE COEFFICIENTS IN SILICON, Ieee Transactions on Electron Devices, 29, 64-70, (1982).

タイトルに関連する用語 (6件)： 最先端 ,  センサー ,  MSS ,  表面応力 ,  動向 ,  応力センサ