文献

J-GLOBAL ID：201802268489627620   整理番号：18A1847922

GaNを添加したCrN系硬質被覆材料の特性評価

Characterization of CrN-Based Hard Coating Materials with Addition of GaN

著者 (4件)： Mizuno Yusei (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology) ,  Nakayama Tadachika (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology) ,  Suematsu Hisayuki (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology) ,  Suzuki Tsuneo (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 59  号： 10  ページ： 1574-1577(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のGaN濃度を有するCr_1-xGa_xN薄膜を,材料特性に及ぼすGaN含有量の影響を明らかにするために,パルスレーザ蒸着によってSi(100)基板上に調製した。これらの膜の組成をRutherford後方散乱分光法によって決定し,一方,結晶構造をFourier変換赤外分光法とX線回折を用いて解明し,硬度値をナノインデンテーションによって測定した。xは0~0.51の範囲にあり,x≦0.31では,単一のB1-(Cr,Ga)N相が存在することを分析は決定した。x≧0.38のそれらの膜では,B4-GaNに基づく第二相も現れた。硬度はxの増加と共に増加し,薄膜が単一のB1-(Cr,Ga)N相を維持し,最大硬度29.4GPaがx=0.31で得られた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *窒化ガリウム ,  *クロム化合物 ,  *窒化物 ,  被覆材 ,  硬質材料 ,  固溶体硬化 ,  皮膜 ,  薄膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  ウエハ【IC】 ,  押込硬さ ,  第二相 ,  結晶構造 ,  Rutherford散乱分光法 ,  X線回折 ,  Fourier変換赤外分光分析 ,  特性 ,  蒸着膜
準シソーラス用語： Si基板 ,  硬質皮膜 ,  材料特性 ,  *窒化クロム

著者キーワード (4件)： ハードコーティング ,  窒化クロム ,  窒化ガリウム ,  固溶体硬化

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (27件)：

• 1) W. Kalss, A. Reiter, V. Derflinger, C. Gey and J.L. Endrino: Int. J. Refract. Met. Hard Mater. 24 (2006) 399-404.
• 2) J.L. Endrino, G.S. Fox-Rabinovich and C. Gey: Surf. Coat. Tech. 200 (2006) 6840-6845.
• 3) Y. Long, J.J. Zeng, D.H. Yu and S.H. Wu: Ceram. Int. 40 (2014) 9889-9894.
• 4) B.D. Beake, L. Ning, Ch. Gey, S.C. Veldhuis, A. Komarov, A. Weaver, M. Khanna and G.S. Fox-Rabinovich: Surf. Coat. Tech. 279 (2015) 118-125.
• 5) E. Martinez, R. Sanjinés, O. Banakh and F. Lévy: Thin Solid Films 447-448 (2004) 332-336.

タイトルに関連する用語 (4件)： GaN ,  硬質 ,  被覆材料 ,  特性評価