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J-GLOBAL ID：201802288019520825   整理番号：18A1010990

反復水熱堆積法による{001}_c配向エピタキシャル(K,Na)NbO₃厚膜の作製

Preparation of {001}_c-oriented epitaxial (K, Na)NbO₃ thick films by repeated hydrothermal deposition technique

著者 (8件)： SHIRAISHI Takahisa (Institute for Materials Research, Tohoku University) ,  ITO Yoshiharu (Department of Materials Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology) ,  ISHIKAWA Mutsuo (Department of Clinical Engineering, Faculty of Biomedical Engineering, Toin University of Yokohama) ,  UCHIDA Hiroshi (Department of Materials and Life Sciences, Sophia University) ,  KIGUCHI Takanori (Institute for Materials Research, Tohoku University) ,  KUROSAWA Minoru K. (Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology) ,  FUNAKUBO Hiroshi (Department of Materials Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology) ,  KONNO Toyohiko J. (Institute for Materials Research, Tohoku University)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (Journal of the Ceramic Society of Japan (Web))
巻： 126  号： 5  ページ： 281-285(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0409A  ISSN： 1348-6535  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： {001}_c配向(K_0.86Na_0.14)NbO₃厚膜を,(100)_cSrRuO₃//(100)SrTiO₃基板上に,反復水熱堆積法により240°Cで作製した。膜厚は堆積繰返し数と共に直線的に増加し,9回の堆積繰返し後に60μm厚膜が得られることが分かった。X線蛍光分光法で測定した堆積した厚膜のK/(K+Na)比は堆積繰返し数に関係なく一定値を示した。断面走査電子顕微鏡画像により,顕著な微小亀裂や細孔がない高密度膜の均一性が明らかになった。X線回折,XRD2θ-ωパターンおよびX線極点図形測定に基づく構造評価により,膜と{001}_c配向した基板のエピタキシャル関係が堆積繰返しを通して維持されることが分かった。さらに,断面Ramanスペクトルにより,60μm厚(K_0.86Na_0.14)NbO₃膜は斜方晶構造を有することが分かった。誘電率,ε_rおよびtanδは周波数依存性を示した。100Hzで測定した平均残留分極は8μC/cm²であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 薄膜成長 ,  水熱合成 ,  エピタクシー ,  カリウム化合物 ,  ナトリウム化合物 ,  *ニオブ酸塩 ,  *厚膜 ,  *微細構造 ,  結晶構造 ,  結晶成長 ,  結晶方位 ,  斜方晶系 ,  極点図 ,  誘電率 ,  残留分極 ,  損失正接 ,  周波数依存性 ,  蛍光X線分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  X線回折分析 ,  Ramanスペクトル ,  圧電セラミック
準シソーラス用語： *エピタキシャル成長 ,  圧電薄膜 ,  ニオブ酸ナトリウムカリウム ,  微細組織 ,  結晶配向 ,  結晶方位関係 ,  X線蛍光分析 ,  走査電子顕微鏡法

著者キーワード (6件)： (K) ,  Na)NbO_3膜 ,  厚膜 ,  水熱法 ,  低温堆積 ,  エピタキシャル成長

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (33件)：

• 1) D. L. Polla and L. F. Francis, MRS Bull., 21, 59–61 (1996).
• 2) C.-B. Eom and S. Trolier-McKinstry, MRS Bull., 37, 1007–1017 (2012).
• 3) D. M. Newns, B. G. Elmegreen, X. H. Liu and G. J. Martyna, Adv. Mater., 24, 3672–3677 (2012).
• 4) Y. Saito, H. Takao, T. Tani, T. Nonoyama, K. Takatori, T. Homma, T. Nagaya and M. Nakamua, Nature, 432, 84–87 (2004).
• 5) G. Shirane, R. Newnham and R. Pepinsky, Phys. Rev., 96, 581–588 (1954).

タイトルに関連する用語 (7件)： 復水 ,  堆積 ,  配向 ,  エピタキシャル ,  Na ,  厚膜 ,  作製