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J-GLOBAL ID：201802291057870587   整理番号：18A0633888

スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価

著者 (5件)： 小林進大 (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  武田さくら (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  米田允俊 (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  大門寛 (Nara Inst. of Sci. and Technol.) ,  若林整 (Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.20a-C103-8  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  スパッタリング ,  *硫化モリブデン ,  酸化 ,  *X線回折 ,  X線光電子分光法 ,  Raman分光法 ,  *硫化モリブデン(IV)
準シソーラス用語： *二硫化モリブデン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ成膜 ,  MoS2 ,  酸化 ,  Mo ,  評価