特許
J-GLOBAL ID：201803001168891794
導電性ピラーの配列用マスクおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130052
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006514
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】導電性ピラーの配列通孔内へ落とし込みを短時間で終了でき、さらに配列通孔内の導電性ピラーの傾きや位置ずれを阻止して、ワーク上の所定位置に導電性ピラーを精度よく搭載できる導電性ピラーの配列用マスクおよびその製造方法を提供する。【解決手段】配列通孔12に円柱状の導電性ピラー2を落とし込んで、ワーク3上の所定位置に導電性ピラー2を搭載する配列用マスクであって、配列通孔12は、マスク本体10の表面で開口して導電性ピラー2を配列通孔12の内部へ導入案内する導入孔部15と、導電性ピラー2を位置決めする保持孔部16とを備えるように構成し、導入孔部15の下端と保持孔部16の上端とは滑らかに連続させる。導入孔部15はマスク本体10の表面側に向かって拡開するベルマウス状に形成し、保持孔部16は開口径D1が導電性ピラー2の直径よりも僅かに大きく設定されるストレート孔で形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の配列パターンに対応した配列通孔(12)に円柱状の導電性ピラー(2)を落とし込んで、ワーク(3)上の所定位置に導電性ピラー(2)を搭載する配列用マスクであって、
配列通孔(12)は、マスク本体(10)の表面で開口して導電性ピラー(2)を配列通孔(12)の内部へ導入案内する導入孔部(15)と、導入孔部(15)の下側に設けられて導電性ピラー(2)を位置決めする保持孔部(16)とを備え、導入孔部(15)の下端と保持孔部(16)の上端とは滑らかに連続しており、
導入孔部(15)は、マスク本体(10)の表面側に向かって拡開するベルマウス状に形成されており、
保持孔部(16)は、同孔部(16)の開口径(D1)が導電性ピラー(2)の直径よりも僅かに大きく設定されるストレート孔で形成されていることを特徴とする導電性ピラーの配列用マスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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