回折環計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216799
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078934
特許番号：特許第6313010号
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置であって、計測対象物に回折する性質をもつビームを照射する照射部と、前記ビームが通過する貫通孔を有する基台と、前記基台の前記貫通孔を除く領域に配置され、前記計測対象物からの回折ビームにより形成される前記回折環を撮像する複数の固体撮像素子と、前記複数の固体撮像素子により撮像された複数の画像から回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部とを有する回折環計測装置。

IPC (1件)：