特許
J-GLOBAL ID：201803003600125421
圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-233421
公開番号（公開出願番号）：特開2015-095729
特許番号：特許第6325799号
出願日： 2013年11月11日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向した下部電極および上部電極と、
前記圧電膜中に挿入され、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域内の外周領域に設けられ、前記共振領域の中央領域には設けられていない挿入膜と、
を具備し、
前記下部電極の前記上部電極が前記共振領域から引き出される側の端面は、前記下部電極の下面が上面に対し大きくなるようなテーパーを有し、
前記下部電極の端面と下面とのなす角度は、前記上部電極の前記下部電極が前記共振領域から引き出される側の端面と下面とのなす角度より小さく、
前記上部電極と前記下部電極とは前記共振領域に対し互いに反対側に引き出され、
前記上部電極が前記共振領域から引き出される側の前記共振領域の端は前記下部電極の下面の端により規定され、
前記下部電極が前記共振領域から引き出される側の前記共振領域の端は前記上部電極の下面の端により規定され、
前記上部電極が前記共振領域から引き出される側における前記共振領域内の前記挿入膜の幅は、前記下部電極が前記共振領域から引き出される側における前記共振領域内の前記挿入膜の幅より広いことを特徴とする圧電薄膜共振器。
IPC (3件)：
H03H 9/17 ( 200 6.01)
, H03H 9/54 ( 200 6.01)
, H03H 9/70 ( 200 6.01)
H03H 9/17 F
, H03H 9/54 Z
, H03H 9/70
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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