特許
J-GLOBAL ID：201303004572545273
非圧電層を備えたバルク音響共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135371
公開番号（公開出願番号）：特開2013-005446
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：
【課題】非圧電層を備えたバルク音響共振器を提供する。【解決手段】第1の電極105は、基板103上及びキャビティ104上に懸架される。圧電層107は、第1の電極105上に配設され、窒化アルミニウム(AlN)又は酸化亜鉛(ZnO)等の非常にきめの細かいc軸圧電材料からなる。非圧電層108は典型的には、圧電層107と同じ物質から作成されるが、非晶質又は多結晶であり、圧電効果を殆ど呈さず又は全く呈さない。第2の電極101は、圧電層107上、及非圧電層108上に配設される。キャビティ104、第1の電極105、圧電層107、及び第2の電極101の重複は、共振器のアクティブ領域109を画定するものとなる。【選択図】図1B
請求項（抜粋）：
バルク音響波(BAW)共振器構造であって、
基板上に配設された第1の電極と、
該第1の電極上に配設された圧電層と、
該圧電層上に配設された第2の電極であって、該圧電層の結晶のc軸配向が実質的に互いに整列している、第2の電極と、
該圧電層に隣接して前記第1の電極上に配設された非圧電層と
を備えており、
前記第2の電極との前記非圧電層の重複が、実質的に、該非圧電層における第1の伝搬固有モードの1/4波長の整数倍に等しい幅、又は該非圧電層における第1の一過性固有モードの減衰定数の逆数(1/k)以上の幅を有している、
BAW共振器構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE04
, 5J108JJ01
