特許
J-GLOBAL ID：201803003650876380

カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法

発明者：
金澤 周介

金澤 周介 について

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日下 靖之

日下 靖之 について

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山本 典孝

山本 典孝 について

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牛島 洋史

牛島 洋史 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

国立研究開発法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-211036
公開番号（公開出願番号）：特開2018-069368
出願日： 2016年10月27日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】シンプルな構造を有し大面積化に適するカンチレバー構造体、及び高解像度及び高精度で大面積化が可能なセンサ、並びに、材料の浪費及び環境負荷を軽減できるカンチレバー構造体の製造方法を提供する。【解決手段】カンチレバー構造体は、第1の電極と、第1の電極と一部が積層され、絶縁層を介して絶縁される第2の電極と、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部とを備え、カンチレバー部は、一部が、第2の電極に、接着層兼導電性支柱層により導電接続され、一部が浮遊した状態である。カンチレバー構造体の第1の電極と第2の電極が、絶縁層を介して交差するマトリクス構造を備える構成とし、カンチレバー部を複数の前記交差する領域に配置することができるので、大面積化が可能である。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
第1の電極と、 前記第1の電極と一部が積層され、絶縁層を介して絶縁される第2の電極と、 樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部とを備え、 前記カンチレバー部は、一部が、前記第2の電極に、接着層兼導電性支柱層により導電接続され、一部が浮遊した状態であることを特徴とするカンチレバー構造体。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ,  B81B 7/04 ,  B81C 3/00 ,  G01B 7/00
FI (4件)：
B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C3/00 ,  G01B7/00 101C
Fターム (23件)：
2F063AA02 ,  2F063BA28 ,  2F063DA01 ,  2F063DD07 ,  2F063HA01 ,  2F063HA10 ,  3C081AA01 ,  3C081AA13 ,  3C081AA17 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA72 ,  3C081CA05 ,  3C081CA28 ,  3C081CA31 ,  3C081CA32 ,  3C081DA06 ,  3C081DA10 ,  3C081DA11 ,  3C081DA25 ,  3C081DA27 ,  3C081DA31 ,  3C081EA01
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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