特許
J-GLOBAL ID：201803003984770752
テンプレートおよびテンプレートを基板と位置合わせするための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 茂樹
, 山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-508519
特許番号：特許第6306501号
出願日： 2012年04月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に配置された成形可能材料をパターニングするためのインプリントテンプレートであって、
第1の側及び第2の側を有する本体と、
パターニングされた表面を有するモールドであって、前記モールドが前記本体の前記第1の側に配置されており、前記パターニングされた表面が第1のパターンを画定するフィーチャ領域を有する、モールドと、
前記フィーチャ領域の外側の前記パターニングされた表面に形成されたテンプレート位置合わせマークであって、入射光の波長600nmにおいて2.8よりも大きいk値を有する高吸収材を含む複数のフィーチャを有する、テンプレート位置合わせマークと、
を含み、
前記テンプレート位置合わせマークのフィーチャが複数の凹みを含み、前記高吸収材が前記凹み内にのみ配置される、
テンプレート。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 39/04 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, H01L 21/30 502 M
, B29C 39/04
, B29C 33/38
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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