特許
J-GLOBAL ID:200903099438844017
位置合わせ方法、インプリント方法、位置合わせ装置、及び位置計測方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-108341
公開番号(公開出願番号):特開2008-221822
出願日: 2007年04月17日
公開日(公表日): 2008年09月25日
要約:
【課題】 新規な位置合わせ方法や位置合わせ装置、インプリント方法を提供する。【解決手段】 第1の本発明は、 第1のアライメントマーク104を有する第1の平板状物体と、第2のアライメントマーク113を有する第2の平板状物体とを対向させて配置する。そして、撮像素子が観測する撮像エリア内の互いに重ならない位置に、第1及び第2の領域を設けておき、2つの前記平板状物体の面内方向に略垂直な方向から、前記第1及び第2のアライメントマークを前記撮像素子で撮像する。そして、前記第1の領域内の予め定められた位置からの前記第1のアライメントマークのズレに関する第1の情報と、前記第2の領域内の予め定められた位置からの前記第2のアライメントマークのズレに関する第2の情報とを用いて、位置合わせ制御を行う。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光源と撮像素子を用いて、2つの平板状物体の位置合わせを行う位置合わせ方法であって、
第1のアライメントマークを有する第1の平板状物体と、第2のアライメントマークを有する第2の平板状物体とを対向させて配置し、
撮像素子が観測する撮像エリア内の互いに重ならない位置に、第1及び第2の領域を設けておき、
2つの前記平板状物体の面内方向に略垂直な方向から、前記第1及び第2のアライメントマークを前記撮像素子で撮像し、
前記第1の領域内の予め定められた位置からの前記第1のアライメントマークのズレに関する第1の情報と、前記第2の領域内の予め定められた位置からの前記第2のアライメントマークのズレに関する第2の情報とを用いて、前記第1の平板状物体と前記第2の平板状物体との面内方向の位置を合わせるための位置合わせ制御を行い、且つ
前記位置合わせ制御を行いながら、前記第1の平板状部材と前記第2の平板状部材とのギャップを狭くして、3μm以下のギャップになるように調整することを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (5件):
B29C 59/02
, H01L 21/027
, G03F 7/20
, B81C 5/00
, B29C 33/30
FI (5件):
B29C59/02 Z
, H01L21/30 502D
, G03F7/20 501
, B81C5/00
, B29C33/30
Fターム (32件):
2H097AA20
, 3C081AA01
, 3C081BA76
, 3C081CA37
, 4F202AA44
, 4F202AF01
, 4F202AF02
, 4F202AF04
, 4F202AJ06
, 4F202AP06
, 4F202AR07
, 4F202CA19
, 4F202CB01
, 4F202CB29
, 4F202CD23
, 4F202CR06
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AP06
, 4F209AR07
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
, 5F046EC05
, 5F046ED05
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)