特許
J-GLOBAL ID：201803004435267042
ダイボンダ及びダイボンディング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-190530
公開番号（公開出願番号）：特開2015-056592
特許番号：特許第6259615号
出願日： 2013年09月13日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板が固定されるボンディングヘッドテーブルのガイド上または基板を案内するシュート上に設けられた認識マークと、
前記認識マークと前記基板のダイ接着位置を挟むように前記基板上に設けられた認識パターンとを撮像する撮像装置と、
ダイを前記基板にボンディングするボンディングヘッドと、
前記撮像装置と前記ボンディングヘッドとを制御する制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記撮像装置によって得られた認識マークの撮像データと認識パターンの撮像データに基づいて前記認識マークの位置と前記認識パターンとの相対的位置のずれ量を算出してダイボンディングに使用する機械的原点の位置を補正する第1の位置補正手段と、
前記撮像装置によって得られた認識パターンの撮像データに基づいて、前記補正された機械的原点を基準にして、前記基板上に設けられた認識パターンの位置を算出し、算出した位置に前記ダイをボンディングするための前記ボンディングヘッドの移動量を補正する第2の位置補正手段と、
前記ボンディングヘッドの補正された移動量に基づいて前記ダイを前記基板にボンディングする手段と、
を有することを特徴とするダイボンダ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/52 C
, H01L 21/52 F
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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