液浸部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 高橋詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-554525
特許番号：特許第6319099号
出願日： 2013年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、前記光学部材を保護する保護部と、を備え、前記保護部は、前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減する液浸部材。

IPC (1件)：