特許
J-GLOBAL ID：201803006278730291

センサチップ、力覚センサ装置

発明者：
山口 真也

山口 真也 について


出願人/特許権者：
ミツミ電機株式会社

ミツミ電機株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-001554
公開番号（公開出願番号）：特開2018-063262
出願日： 2018年01月10日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：
【課題】簡易な方法で多軸の変位を検知して出力可能なセンサチップを提供する。【解決手段】本センサチップは、基板と、前記基板に形成された複数の支持部と、複数の検出部と、を有し、各々の前記検出部は、少なくとも2つの前記支持部を連結する第1の検知用梁と、前記第1の検知用梁に設けられた、力が印加される力点と、を含む。【選択図】図25
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板に形成された複数の支持部と、 複数の検出部と、を有し、 各々の前記検出部は、 少なくとも2つの前記支持部を連結する第1の検知用梁と、 前記第1の検知用梁に設けられた、力が印加される力点と、を含むセンサチップ。
IPC (2件)：
G01L 5/16 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L5/16 ,  H01L29/84 A
Fターム (14件)：
2F051AA10 ,  2F051AA11 ,  2F051AB10 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA24 ,  4M112CA28 ,  4M112CA35 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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