特許
J-GLOBAL ID：201803006969051153

リソグラフィーによって生成された形体

発明者：
ブレーキー イドリス

ブレーキー イドリス について

, 
チュアン ヤーミ

チュアン ヤーミ について

, 
ウィッタカー アンドリュー キース

ウィッタカー アンドリュー キース について

, 
ジャック ケヴィン スタンレー

ジャック ケヴィン スタンレー について


出願人/特許権者：
ザ ユニバーシティー オブ クイーンズランド

ザ ユニバーシティー オブ クイーンズランド について


代理人 (4件)： 池田 成人 ,  酒巻 順一郎 ,  野田 雅一 ,  山口 和弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-110672
公開番号（公開出願番号）：特開2018-156109
出願日： 2018年06月08日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：
【課題】リソグラフィーによって生成された形体上のラインエッジラフネスを修正するための方法、修正されたリソグラフィーによって生成された形体、および修正されたリソグラフィーによって生成された形体を備える装置を提供する。【解決手段】ブロックコポリマーが荷電親水性ポリマーブロックおよび非荷電親水性ポリマーブロックを含む、ブロックコポリマーをラインエッジラフネスを有する形体上の領域に適用することを含む方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
材料におけるリソグラフィーによって生成された形体上のラインエッジラフネスを修正するための方法であって、ブロックコポリマーが荷電親水性ポリマーブロックおよび非荷電親水性ポリマーブロックを含む、前記ブロックコポリマーを前記ラインエッジラフネスを有する前記形体上の領域に適用するステップを含む方法。
IPC (3件)：
G03F 7/40 ,  C08F 293/00 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/40 511 ,  C08F293/00 ,  H01L21/30 502D
Fターム (10件)：
2H196AA25 ,  2H196HA35 ,  4J026HA11 ,  4J026HA20 ,  4J026HA32 ,  4J026HB11 ,  4J026HB32 ,  4J026HE01 ,  4J026HE02 ,  5F146AA28
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM