特許
J-GLOBAL ID：201803007258492005

ウエハ検査装置

発明者：
掛井 佐織

掛井 佐織 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-122343
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228602
出願日： 2016年06月21日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】ウエハの被検査面および裏面にキズの形成や異物付着等が発生する頻度を低減し、またウエハの検査速度を向上するウエハ検査装置の提供する。【解決手段】ウエハ3の少なくとも一部の外周を支持してウエハ3をウエハ設置位置に静止可能な支持部2aを含む支持手段2と、ウエハ設置位置に対向して設けられ、支持手段2に設置されるウエハ3を光学的に検査する光学検査手段4と、光学検査手段4に接続し光学検査手段4を移動させる駆動手段5と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエハの少なくとも一部の外周を支持して前記ウエハをウエハ設置位置に静止可能な支持部を含む支持手段と、 前記ウエハ設置位置に対向して設けられ、前記支持手段に設置される前記ウエハを光学的に検査する光学検査手段と、 前記光学検査手段に接続し前記光学検査手段を移動させる駆動手段とを備えるウエハ検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/956 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/677
FI (5件)：
H01L21/66 J ,  G01N21/956 A ,  G01N21/84 C ,  H01L21/68 N ,  H01L21/68 A
Fターム (39件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051CA04 ,  2G051CC09 ,  2G051CD04 ,  2G051CD05 ,  2G051CD09 ,  2G051DA17 ,  2G051DA20 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ02 ,  5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA09 ,  5F131CA12 ,  5F131CA19 ,  5F131CA32 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA16 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EB54 ,  5F131EB55 ,  5F131EB57 ,  5F131EB63 ,  5F131JA16 ,  5F131JA24 ,  5F131KA44 ,  5F131KA72 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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