特許
J-GLOBAL ID:201803007744140099
リードフレーム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
特許業務法人篠原国際特許事務所
, 篠原 泰司
, 藤中 雅之
, 鈴木 和弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-191978
公開番号(公開出願番号):特開2018-056386
出願日: 2016年09月29日
公開日(公表日): 2018年04月05日
要約:
【課題】半導体装置の製造工程において360°C前後の高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を良好な状態に維持できるリードフレーム及び半導体装置、並びにそれらの製造方法を提供すること。【解決手段】銅または銅合金からなるリードフレーム基材10の少なくとも一部に、酸化第一銅(Cu2O)と酸化第二銅(CuO)と水酸化第二銅(Cu(OH)2)とが混在する単層膜からなり、且つ、単層膜が平均長さ400nm以上の針状結晶構造を備えた、酸化銅の被膜30を有する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
銅または銅合金からなるリードフレーム基材の面の少なくとも一部の領域に、酸化第一銅(Cu2O)と酸化第二銅(CuO)と水酸化第二銅(Cu(OH)2)とが混在する針状結晶構造の酸化銅の被膜を備え、且つ、前記酸化銅の被膜の針状結晶は平均長さ400nm以上であることを特徴とするリードフレーム。
IPC (1件):
FI (2件):
H01L23/50 D
, H01L23/50 H
Fターム (6件):
5F067DC11
, 5F067DC13
, 5F067DC16
, 5F067DC19
, 5F067DE01
, 5F067EA04
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)