圧電センサの検査方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人楓国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-262263
公開番号（公開出願番号）：特開2015-118032
特許番号：特許第6287166号
出願日： 2013年12月19日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対向する面にそれぞれ第1検出電極および第2検出電極が形成された圧電フィルムを有するセンサ部と、前記センサ部が第1主面に貼付された検出板と、を備える圧電センサの検査方法において、前記検出板の両端部を測定台に固定する固定工程と、前記検出板の一部を、ピエゾアクチュエータで押圧し、前記第1検出電極および前記第2検出電極の間に生じる電圧を測定する測定工程と、を含み、前記圧電センサは、前記センサ部における、前記検出板とは逆側の面に装着された押し子をさらに備える、圧電センサの検査方法。

IPC (2件)：