特許
J-GLOBAL ID：201103082039802287

圧電センサ

発明者：
田原 竜夫

田原 竜夫 について

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三好 規子

三好 規子 について

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深町 悟

深町 悟 について

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秋山 守人

秋山 守人 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-049764
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185681
出願日： 2010年03月05日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】薄層化が可能であり、高周波の作用により強い電磁ノイズが発生するため従来は利用できなかった環境であっても使用可能な圧電センサを提供する。【解決手段】本発明に係る圧電センサ50は、圧電体膜2、下部電極3、ポリイミド層4、上部電極5、および、圧電体膜6(または誘電体膜)が積層された圧電センサであって、圧電体膜6(または誘電体膜)は、圧電体膜2と同一の比誘電率および静電容量を有し、圧電体膜2と圧電体膜6とは同一の極性面を対向させて配置され、ポリイミド層4の層方向の面積は、圧電体膜2の層方向の面積と同じかまたは小さく、かつ、圧電体膜6(または誘電体膜)の層方向の面積と同じかまたは小さい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1圧電体膜、第1電極、絶縁体層、第2電極、および、第2圧電体膜または誘電体膜が積層された圧電センサであって、 上記第2圧電体膜または誘電体膜は、上記第1圧電体膜と同一の比誘電率および静電容量を有し、 上記第1圧電体膜と第2圧電体膜とは同一の極性面を対向させて配置され、 上記絶縁体層の層方向の面積は、上記第1圧電体膜の層方向の面積と同じかまたは小さく、かつ、第2圧電体膜または誘電体膜の層方向の面積と同じかまたは小さいことを特徴とする圧電センサ。
IPC (8件)：
G01L 1/16 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  G01N 29/24 ,  G01N 29/14
FI (10件)：
G01L1/16 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 H ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/18 102 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  G01N29/24 ,  G01N29/14
Fターム (7件)：
2G047BA05 ,  2G047BC07 ,  2G047EA04 ,  2G047EA08 ,  2G047GB21 ,  2G047GB32 ,  2G047GB36
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (11件)
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