研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：特許業務法人東京アルパ特許事務所 , 川村恭子 , 佐々木功 , 久保健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-224257
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088547
特許番号：特許第6267927号
出願日： 2013年10月29日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数のウェーハを研削する研削装置であって、複数のウェーハを保持しウェーハより大径に形成された保持面を有し、該保持面に直交するとともに該保持面の中心を通る第一回転軸を中心として回転可能であり、該保持面上において該第一回転軸を中心とした円周上で該複数のウェーハを周方向に等間隔に保持する保持手段と、該第一回転軸と平行な第二回転軸を中心として回転可能な研削ホイールを有し、該保持手段に保持された複数のウェーハを同時に研削する研削手段と、該研削ホイールを該保持面に対して該第二回転軸の伸長方向に近接離反可能に該研削手段を相対移動させる移動手段と、を備え、該第一回転軸と該第二回転軸とは、該保持面方向において所定の間隔をおいて離間しており、該研削ホイールは、基台と、該基台に固定され該保持手段に保持されたすべてのウェーハに常に当接する環状の研削砥石部と、を含み、該環状の研削砥石部は、該保持手段に保持された各ウェーハが該第一回転軸を中心として1回転する間にウェーハの外周縁の一点からウェーハの中心を通りウェーハの外周縁の該一点に対面するウェーハ外周の他点に至るウェーハ全面に当接する幅に形成され、すべての複数のウェーハに対して該研削砥石部による研削軌跡を同一とする研削装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) , B24B 7/04 ( 200 6.01) , B24B 41/06 ( 201 2.01)

FI (3件)：

H01L 21/304 631 , B24B 7/04 A , B24B 41/06 L

引用特許：

審査官引用 (9件)

研削方法及び研削装置用の刃
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-155313 出願人：富士通株式会社, 株式会社九州富士通エレクトロニクス
被加工物の研削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-102296 出願人：株式会社ディスコ
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-133876 出願人：理研製鋼株式会社, 大同特殊鋼株式会社

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