フィルタ検査治具

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栗林三男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-166088
公開番号（公開出願番号）：特開2015-034763
特許番号：特許第6259607号
出願日： 2013年08月09日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】1つの部屋に複数のフィルタを有する設備のフィルタリーク検査に使用されるフィルタ検査治具であって、四角形枠状に形成され、かつ内部の少なくとも一部が中空部となっており、前記各フィルタの外周枠の上面に気密に装着されることで、内側に専用の一次チャンバが形成される枠体と、当該枠体に設けられ、前記中空部に検査用粒子を注入する注入部と、前記枠体の内側を向く側壁に設けられ、前記中空部に注入された検査用粒子を、前記枠体の内側の前記一次チャンバに放出する複数の放出部とを備えていることを特徴とするフィルタ検査治具。

IPC (2件)：