特許
J-GLOBAL ID：201803008990932693

2次元光走査ミラー装置、その製造方法、2次元光走査装置及び画像投影装置

発明者：
勝山 俊夫

勝山 俊夫 について

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石神 龍哉

石神 龍哉 について


出願人/特許権者：
国立大学法人福井大学

国立大学法人福井大学 について

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公益財団法人若狭湾エネルギー研究センター

公益財団法人若狭湾エネルギー研究センター について


代理人 (3件)： 土井 健二 ,  林 恒徳 ,  眞鍋 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-212976
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072591
出願日： 2016年10月31日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】2次元光走査ミラー装置、その製造方法、2次元光走査装置及び画像投影装置に関し、ミラー可動部の構造を単純化し、且つ、小型化する。【解決手段】基板上に2次元走査可能に支持された可動ミラー部を設け、前記可動ミラー部に膜平面方向に磁化方向を有する硬質磁性薄膜を設けるとともに、前記可動ミラー部を駆動する交流磁場発生装置を少なくとも含む磁場発生装置を設け、前記硬質磁性薄膜の保磁力に対する前記磁場発生装置が発生する磁場の比を0.2以下とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 光走査回転軸を有し、前記基板に2次元光走査可能に支持された可動ミラー部と、 前記可動ミラー部に設けられた硬質磁性薄膜と、 前記可動ミラー部を駆動する交流磁場発生装置を少なくとも含む磁場発生装置と を有し、 前記硬質磁性薄膜が膜平面方向に磁化方向を有し、 前記硬質磁性薄膜の保磁力に対する前記磁場発生装置が発生する磁場の比が0.2以下である2次元光走査ミラー装置。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
Fターム (44件)：
2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045BA12 ,  2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC05 ,  2H141MD13 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141ME06 ,  2H141ME09 ,  2H141ME25 ,  2H141MF28 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  3C081AA11 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA54 ,  3C081CA05 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA27 ,  3C081CA28 ,  3C081CA30 ,  3C081CA31 ,  3C081CA32 ,  3C081CA40 ,  3C081DA03 ,  3C081DA06 ,  3C081DA08 ,  3C081DA11 ,  3C081DA24 ,  3C081DA30 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11
引用特許：
審査官引用 (9件)
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