特許
J-GLOBAL ID：201803010269531615

改良型微小電気機械加速度測定装置

発明者：
リウック・マッティ

リウック・マッティ について

, 
ニスカネン・セヴェリ

ニスカネン・セヴェリ について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (2件)： 吉川 修一 ,  傍島 正朗
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-515585
公開番号（公開出願番号）：特表2018-531377
出願日： 2016年09月23日
公開日（公表日）： 2018年10月25日
要約：
本構造体により、コンパクトな部品サイズで交差軸感度を最小化した2次元加速度検知が可能になる。ロータマス(100)は、第1フレーム(102)と第2フレーム(102)とを備える。一方のセンサ方向において、本構造体は、前記装置サイズで実現可能なSN比を改善する、第1フレームと第2フレームとを組み合わせたプルーフマスを採用する。他方のセンサ方向において、第2フレームのプルーフマスの変位を検出するために、センサ素子を少なくとも2つ有する検出構造体(140)を用いる。検出構造体(140)の特定内部構造により、一方向におけるセンサ素子の信号寄与を互いに打ち消し合う。
請求項（抜粋）：
加速度を測定する微小電気機械構造体であって、 第1フレーム(102)と第2フレーム(104)とを備えるロータマス(100)と、 支持面から中立位置に前記第1フレーム(102)を懸架する第1ばね構造体(108)であって、第1ばね定数の剛性で面内第1方向に沿った前記第1フレームの前記中立位置からの変位に反応し、前記第1方向以外の方向に沿った前記第1フレームの変位を除外する第1ばね構造体と、 前記第1方向に沿った前記ロータマス(100)の前記中立位置からの変位を検出する一次検出構造体(110)と、 前記第1フレーム(102)から中立位置に前記第2フレーム(104)を懸架する第2ばね構造体(106)であって、前記第1方向に直交し、かつ、第2ばね定数の剛性で第2方向に沿った、前記第2フレームの前記中立位置からの変位に反応し、前記第2フレームの前記第1フレームからの変位を除外する第2ばね構造体と、 前記第2フレーム(104)の変位を検出する二次検出構造体(140)であって、当該二次検出構造体の信号は、前記第2フレームの前記第1方向の変位に対応する第1信号成分と前記第2フレームの前記第2方向の変位に対応する第2信号成分とを含む二次検出構造体とを備え、 前記二次検出構造体(140)は、前記第2フレーム(104)の前記第1方向の変位によって、一方の二次センサ素子(160)の前記第1信号成分への寄与が増加し、他方の二次センサ素子(162)の前記第1信号成分への寄与が同じ量減少することで、当該一方の二次センサ素子(160)の前記第1信号成分への寄与と当該他方の二次センサ素子(162)の前記第1信号成分への寄与とが互いに打ち消し合うように二次センサ素子の組(160、162)が配置された二次検出素子(190)を少なくとも1つ備える 微小電気機械構造体。
IPC (5件)：
G01P 15/125 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/08 ,  B81B 3/00 ,  H01L 29/84
FI (5件)：
G01P15/125 Z ,  G01P15/18 ,  G01P15/08 101A ,  B81B3/00 ,  H01L29/84 Z
Fターム (21件)：
3C081AA13 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA76 ,  3C081CA13 ,  3C081DA04 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112DA02 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112FA07 ,  4M112GA03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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