特許
J-GLOBAL ID:201803010582402222

テラヘルツ波検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-039460
公開番号(公開出願番号):特開2018-146294
出願日: 2017年03月02日
公開日(公表日): 2018年09月20日
要約:
【課題】動作速度の速いテラヘルツ波検出装置を提供する。【解決手段】テラヘルツ波検出装置は、テラヘルツ波の照射により温度が上昇するテラヘルツ波吸収部を中央に有する両持ち梁構造のテラヘルツ波受信素子と、周波数変調検出法に基づいてテラヘルツ波受信素子の共振周波数のシフトによるテラヘルツ波の照射を検出する検出部とを備える。テラヘルツ波吸収部にテラヘルツ波が照射されるとテラヘルツ波受信素子の梁部の温度が上昇し、弾性定数の温度依存性により梁部に応力が作用し、両持ち梁構造における共振周波数が変化する。検出部では、この共振周波数のシフトを検出することにより、テラヘルツ波の受信を検出する。共振周波数のシフトを追跡する検出方法では、梁の振動振幅が一定に保たれるので、梁に溜まる振動エネルギーが変化せず、Q値による時間の制限を受けないため、高速に動作することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
テラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出装置であって、 テラヘルツ波の照射により温度が上昇するテラヘルツ波吸収部を中央に有する両持ち梁構造のテラヘルツ波受信素子と、 周波数変調検出法に基づいて前記テラヘルツ波受信素子の共振周波数のシフトによるテラヘルツ波の受信を検出する検出部と、 を備えるテラヘルツ波検出装置。
IPC (1件):
G01J 1/02
FI (2件):
G01J1/02 C ,  G01J1/02 Z
Fターム (5件):
2G065AA04 ,  2G065AB03 ,  2G065BA34 ,  2G065BA40 ,  2G065BC04
引用特許:
審査官引用 (4件)
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引用文献:
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