特許
J-GLOBAL ID：201803011163715276

基板製造のためのウエハプレートおよびマスク器具

発明者：
ブラック,テリー

ブラック,テリー について

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ザネット, アーロン

ザネット, アーロン について

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ペダーソン, テリー

ペダーソン, テリー について

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ランスタッドラー, ジュニア ウィリアム ユージーン

ランスタッドラー, ジュニア ウィリアム ユージーン について


出願人/特許権者：
インテヴァック インコーポレイテッド

インテヴァック インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 井関 勝守 ,  金子 修平 ,  大西 渉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-517129
公開番号（公開出願番号）：特表2018-531510
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年10月25日
要約：
真空処理チャンバにおいてウエハを処理するシステムが開示される。キャリアには複数の開口部を有するフレームを含み、各開口部は1枚のウエハを収容するように構成される。搬送器具はシステムにおいて複数のキャリアを搬送するように構成される。複数のウエハプレートはウエハを支持するように構成される。複数のウエハプレートを各キャリアに取り付ける取付器具において、各ウエハプレートは、ウエハキャリアの1つに配置された各ウエハがキャリアの複数の開口部の1つの内に配置されるように、対応するキャリアの下側の対応する位置に取り付けられる。キャリアの複数の開口部の1つの前側には、マスクが取り付けられる。位置合わせステージは、キャリアの開口部の下方で前記ウエハプレートを支持する。マスクおよびウエハをともに撮像するためにカメラが配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空処理チャンバにおいてウエハを処理するためのシステムであって、 キャリアのそれぞれが複数の開口部を有するフレームを含み、前記開口部のそれぞれが1枚のウエハを収容するように構成された、複数のキャリアと、 前記複数のキャリアを前記システムにおいて搬送するように構成された搬送器具と、 ウエハプレートのそれぞれが1枚のウエハを支持するように構成された、複数のウエハプレートと 前記キャリアのそれぞれに複数のウエハプレートを取り付けるための取付器具において、前記ウエハプレートのそれぞれは、前記ウエハプレートの1つに配置された前記ウエハのそれぞれが前記キャリアの前記複数の開口部の1つに配置されるように、対応するキャリアの下側の対応する位置に取り付けられる、取付器具と、 マスクのぞれぞれが前記キャリアの前記複数の開口部の1つの前側に取り付けられる、複数のマスクと、 前記ウエハプレートの1つを前記キャリアの前記複数の開口部の1つの下方で支持するように構成されるとともに、移動、回転、および上昇の動作のために構成された、位置合わせステージと、 前記複数のマスクの1つを撮像するとともに、前記ウエハプレートが前記位置合わせステージに配置されたとき前記ウエハプレートの1つに配置されたウエハを撮像するように配置されたカメラと、 前記カメラから画像を受信して、前記位置合わせステージに補正信号を送信するコントローラと、を含むシステム。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
H01L21/68 U ,  H01L21/68 A
Fターム (36件)：
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131AA34 ,  5F131BA03 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131BA23 ,  5F131BB03 ,  5F131CA07 ,  5F131CA24 ,  5F131CA32 ,  5F131DA02 ,  5F131DA09 ,  5F131DA22 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA63 ,  5F131DB22 ,  5F131DB23 ,  5F131DB27 ,  5F131DC23 ,  5F131DC26 ,  5F131EB11 ,  5F131EB31 ,  5F131FA14 ,  5F131FA35 ,  5F131GA22 ,  5F131GA24 ,  5F131GA26 ,  5F131GA42 ,  5F131GA66 ,  5F131HA13 ,  5F131HA14 ,  5F131HA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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