特許
J-GLOBAL ID：201503019382209458

太陽電池製造のための2重マスク装置

発明者：
ブラック,テリー

ブラック,テリー について

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ラッチフォード,イアン

ラッチフォード,イアン について

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シャー ヴィネイ

シャー ヴィネイ について

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リポサン アレックス

リポサン アレックス について


出願人/特許権者：
インテヴァック インコーポレイテッド

インテヴァック インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 井関 勝守 ,  金子 修平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-507232
公開番号（公開出願番号）：特表2015-520799
出願日： 2013年04月19日
公開日（公表日）： 2015年07月23日
要約：
基板を支持するためのサセプタを有するウエハキャリアを備え、前記基板を所定の位置に制限する、プロセス中の前記基板を支持するための装置が開示される。内マスクは前記基板の上に配置されるように構成され、前記内マスクは前記基板の未プロセス部分をマスキングするための開口パターンを有するが、プロセスのために前記基板の残りの部分を露出する。外マスクは前記内マスクの上に配置されるように構成され、前記外マスクは、前記内マスクの前記開口パターンを有する部分を露出するが、前記内マスクの縁を被覆する開口を備える。【選択図】図2B
請求項（抜粋）：
半導体ウエハのマスキングのための2つの部分からなるマスキングシステムであり、 前記ウエハに付与される所望のパターンに従った少なくとも1つの開口部を有する金属平板からなる内マスクと、前記内マスク上に配置され、前記内マスクをマスキングするように構成された外マスクとを含み、 前記内マスクは、前記ウエハ上に配置されるとき前記ウエハを部分的に被覆し、前記外マスクは、前記内マスクの周縁部を被覆するように設計されたサイズの開口部を有し、前記内マスクの厚さより厚い、2つの部分からなるマスキングシステム。
IPC (2件)：
C23C 14/04 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
C23C14/04 A ,  H01L21/68 N
Fターム (33件)：
4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BC03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K029KA02 ,  5F131AA02 ,  5F131AA12 ,  5F131AA34 ,  5F131BA03 ,  5F131CA02 ,  5F131CA32 ,  5F131DA05 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EB11 ,  5F131EB72 ,  5F131FA02 ,  5F131FA10 ,  5F131FA14 ,  5F131GA05 ,  5F131GA33 ,  5F131GA42 ,  5F131GA52 ,  5F131GA66
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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