特許
J-GLOBAL ID:201803013590665843

光検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  柴山 健一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-227287
公開番号(公開出願番号):特開2015-087318
特許番号:特許第6290594号
出願日: 2013年10月31日
公開日(公表日): 2015年05月07日
請求項(抜粋):
【請求項1】 主面を有する配線基板と、 前記配線基板の前記主面上に配置され、前記配線基板と電気的に接続された光検出器と、 前記配線基板の前記主面上において前記光検出器の周囲に配置された支持部材と、 光透過領域を有し、前記支持部材を介して前記配線基板の前記主面上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、を備え、 前記支持部材は、前記光透過領域の周囲領域において前記ファブリペロー干渉フィルタを支持しており、 前記支持部材は、前記光透過領域における光の透過方向から見た場合に、前記周囲領域の内側と前記周囲領域の外側とを連通する開口部を形成し、 前記ファブリペロー干渉フィルタは、基板と、前記基板に固定された第1ミラーと、前記第1ミラーと空隙を介して対向し、前記第1ミラーに対して移動可能な第2ミラーと、を有し、 前記支持部材と前記ファブリペロー干渉フィルタとは、樹脂材料により形成された接着部によって互いに固定される、光検出装置。
IPC (1件):
G01J 3/26 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01J 3/26
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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