波長分散型蛍光X線分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉本修司 , 野田雅士 , 堤健郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-194356
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054571
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】高速に正確なネット強度を求める高精度の定量分析と高計数率で高精度の主成分分析との両方を簡単な構成で迅速にできる波長分散型蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】直線状に配列された複数の検出素子(7)を有する単一の一次元検出器(10)を備えた波長分散型蛍光X線分析装置であって、一次元検出器(10)の位置について、検出素子(7)の配列方向が分光素子(6)における分光角度方向に対して平行となる平行位置と交差する交差位置とのいずれかに設定するための検出器位置変更機構(11)を備え、平行位置では、一次元検出器(10)の受光面が集光2次X線(42)の焦点に位置し、交差位置では、受光スリット(9)が集光2次X線(42)の焦点に配置され、一次元検出器(10)の受光面は受光スリット(9)よりも分光素子(6)から離れた集光2次X線(42)の進行方向側に位置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生した2次X線を通過させる発散スリットと、前記発散スリットを通過した2次X線を分光して集光する分光素子と、直線状に配列された複数の検出素子を有し、2次X線が前記分光素子で集光された集光2次X線の光軸に対して受光面が垂直である単一の一次元検出器とを備えた集中光学系の波長分散型蛍光X線分析装置であって、前記一次元検出器の位置について、前記検出素子の配列方向が前記分光素子における分光角度方向となる平行位置と、前記検出素子の配列方向が前記分光素子における分光角度方向に対して交差する交差位置とのいずれかに、変更自在に設定するための検出器位置変更機構を備え、前記一次元検出器が前記平行位置に設定された状態では、前記一次元検出器の受光面が集光2次X線の焦点に位置し、前記一次元検出器が前記交差位置に設定された状態では、前記分光素子における分光角度方向に対して長手方向が直交する開口を有する受光スリットが、集光2次X線の焦点に配置され、前記一次元検出器の受光面は、前記受光スリットよりも前記分光素子から離れた集光2次X線の進行方向側に位置する波長分散型蛍光X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 , G01N 23/207

FI (2件)：

G01N23/223 , G01N23/207 320

Fターム (7件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA08 , 2G001FA11 , 2G001GA01 , 2G001GA13

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線検出システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-203409 出願人：日本電子株式会社
特開昭49-118493
X線分光器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-151635 出願人：株式会社島津製作所

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