特許
J-GLOBAL ID：201803015123518481

微小電気機械デバイス用の電極

発明者：
リンキオ・マルクス

リンキオ・マルクス について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (2件)： 吉川 修一 ,  傍島 正朗
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-513001
公開番号（公開出願番号）：特表2018-529953
出願日： 2016年09月08日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：
微小電気機械デバイス構造は、支持構造ウエハ(310)を含む。キャビティ電極(130)は、支持構造ウエハ中のキャビティ内に形成される。キャビティ電極は、キャビティの基部から機能層(300)に向かって突出構造を形成し、キャビティ電極は所定の電位に接続される。キャビティ電極は、支持構造ウエハ中のキャビティ内のシリコンカラムを含み、キャビティによって部分的にまたは全体的に囲まれる。1つ以上のキャビティ電極が、機能層内で発生する振動の周波数を調節するために利用され得る。
請求項（抜粋）：
第1の材料を含む少なくとも1つの支持構造ウエハと、機能層と、を備える微小電気機械デバイス構造であって、 前記第1の材料に類似する第2の材料のキャビティ電極は、前記支持構造ウエハのキャビティ内に形成され、 前記支持構造ウエハの少なくとも一部と電気的に接続され、 前記キャビティ電極および前記支持構造ウエハの前記少なくとも一部は、規定の電位に接続されるように構成されていることを特徴とする、 微小電気機械デバイス構造。
IPC (3件)：
G01C 19/574 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G01C19/5747 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00
Fターム (28件)：
2F105BB04 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081BA07 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081EA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA34 ,  4M112DA02 ,  4M112DA07 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
  • 共振素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-344648   出願人：株式会社村田製作所
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-196899   出願人：株式会社デンソー

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