特許

J-GLOBAL ID：200903021966020949

角速度センサ

発明者： 樋口 祐史
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (3件)： 伊藤 洋二 ,  三浦 高広 ,  水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-196899
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017624
出願日： 2004年07月02日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】 振動型の角速度センサにおいて、重力による振動子の変位をキャンセルして振動子の適切な振動状態を実現する。【解決手段】 基部20と、基部20に連結された振動子30、40と、振動子30、40をx方向へ駆動振動させるための加振手段34、44、211〜214、220と、振動子30、40の駆動振動のもと角速度が印加されたときにx方向と直交するy方向への振動子30、40の振動に基づいて角速度を検出する検出手段60、70、231〜234とを備える角速度センサ100において、重力によって振動子30、40が重力方向へ変位した変位量をキャンセルするように、振動子30、40の位置を調整する位置調整手段81、82、250が備えられている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基部(20)と、 前記基部(20)に連結された振動子(30、40)と、 前記振動子(30、40)を第1の方向(x)へ駆動振動させるための加振手段(34、44、211〜214、220)と、 前記振動子(30、40)の駆動振動のもと角速度が印加されたときに前記第1の方向(x)と直交する第2の方向(y)への前記振動子(30、40)の振動に基づいて前記角速度を検出する検出手段(60、70、231〜234)とを備える角速度センサにおいて、 前記第1の方向(x)および前記第2の方向(y)と直交する検出軸(z)を水平面と平行にし、前記第1の方向(x)を鉛直方向とした場合、重力によって前記振動子(30、40)が重力方向へ変位した変位量をキャンセルするように、前記振動子(30、40)の位置を調整する位置調整手段(81、82、250)が備えられていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (19件)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  4M112AA02 ,  4M112BA08 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA17 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112FA03 ,  4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232319   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所

審査官引用 (4件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-024623   出願人：株式会社村田製作所
• 容量式加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-235983   出願人：株式会社デンソー
• 角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-180303   出願人：アイシン精機株式会社
• 共振素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-344648   出願人：株式会社村田製作所