特許
J-GLOBAL ID：201803016342985490
モデルベースの限界寸法測定の技術およびシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-511696
公開番号（公開出願番号）：特表2018-527619
出願日： 2016年09月01日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
レチクルは画像化システムによって検査されてレチクル上の構造の測定画像を取得し、構造は未知の限界寸法(CD)を有する。モデルを用いて、構造をレチクル上に形成するために用いるパターンを記載する設計データベースを使用して、算出画像が生成される。モデルは、構造のレチクル材料の光学的特性、画像化システムの計算モデルおよび調節可能なCDに基づいて算出画像を生成する。測定および算出画像の間の差のノルムは、調節可能なCDを調節して、構造の未知のCDに対する最終的なCDを取得するように算出画像を生成する動作を反復的に繰り返すことによって最小化される。差のノルムを最小化することは、画像化システムの調節可能なCDおよび1つまたは複数の不確実パラメータに関して同時に実行される。
請求項（抜粋）：
レチクル上の限界寸法バイアスを測定する方法であって、
前記レチクル上の構造の測定画像を取得するために画像化システムによって前記レチクルを検査することであって、前記構造は未知の限界寸法値を有する、検査することと、
モデルを用いて、前記構造を前記測定画像が取得された前記レチクルの上に形成するために用いたパターンを記述する設計データベースを使用して算出画像を生成することであって、前記モデルは、前記構造に対応するレチクル材料の光学的特性と、前記画像化システムの計算モデルと、調節可能な限界寸法とに基づいて前記算出画像を生成する、生成することと、
最終的なモデル限界寸法に結果としてなるように前記調節可能な限界寸法を調節して、反復的に算出画像を生成する動作を繰り返すことによって、前記測定および算出画像の差のノルムを最小化することであって、前記差の前記ノルムを最小化することは、前記調節可能な限界寸法および前記画像化システムの1つまたは複数の不確実パラメータに関して同時に実行される、最小化することと、
前記未知の限界寸法値を前記差の前記ノルムの最小化に結果としてなった前記最終的な限界寸法として定義することと
を含むことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2H195BA01
, 2H195BA07
, 2H195BA10
, 2H195BB02
, 2H195BB08
, 2H195BB10
, 2H195BC09
, 2H195BD03
, 2H195BD08
, 2H195BD20
, 2H195BD25
, 2H195BD27
, 2H195BD28
, 2H195BD40
